공정에서 마스크에 먼지가 있으면, 웨이퍼에 먼지까지 프린트가 된다.
펠리클은 마스크에 먼지가 앉거나 오염되지 않게 하는 먼지 덮게 기능을 하는 공정 부품
기존 펠리클은 재질이 폴리머로 EUV를 100% 다 흡수해서, EUV 공정에서 기존 펠리클을 사용하지 못함
EUV를 투과하는 투명한 재료를 찾던 중 웨이퍼를 만드는 실리콘 재질이 투과도가 제일 좋았고, 현재는 실리콘으로 펠리클을 생산. 최대한 투과율을 높여서 마스크까지 잘 도달하게 해야 하는 것이 목적이며, 반도체 산업현장에서 요구하는 EUV 투과율은 90% 이상을 원함
현재는 EUV 공정에서 펠리클 없이 사용하고 있지만, defect에 대한 불안감은 항상 잔존하고 있음.
국내 펠리클 솔루션 업체
에프에스티(A036810) | Snapshot | 기업정보 | Company Guide
에프에스티 036810 | <!-- FINE SEMITECH | --> 홈페이지 홈페이지http://www.fstc.co.kr 전화번호 전화번호031-370-0900 | IR 담당자 031-371-2438 주소 주소경기도 화성시 동탄면 동탄산단6길 15-23 KOSDAQ 코스닥 IT H/W
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에스앤에스텍(A101490) | Snapshot | 기업정보 | Company Guide
에스앤에스텍 101490 | <!-- S&S TECH | --> 홈페이지 홈페이지http://www.snstech.co.kr 전화번호 전화번호053-589-1692 | IR 담당자 053-589-1692 주소 주소대구시 달서구 호산동로 42 KOSDAQ 코스닥 IT H/W 코스닥 IT H/
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